环球今热点：天准科技：Muetec的掩膜检测设备可以覆盖65-90nm工艺 目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度
来源：每日经济新闻 时间：2023-05-29 19:16:28
【资料图】
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：日本对euv掩膜版设备进行了限制，MueTec的掩膜版检测设备能否进行国产替代？
天准科技（688003.SH）5月29日在投资者互动平台表示，Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺，目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。
（文章来源：每日经济新闻）
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